单晶硅生产中成熟的应用是石英玻璃坩埚,是采用陶瓷坩埚提纯多晶硅。在物理法提纯太阳能级多晶硅材料和定向结晶炉(DSS)系统中采用陶瓷坩埚越来越多。陶瓷坩埚的材料基体为陶瓷,其晶相为晶体和玻璃体,其基本性能和分析手段为工程陶瓷的研究内容。而石英玻璃坩埚简称石英坩埚,其材料基体是玻璃,完全是玻璃相。
陶瓷坩埚的主要(yao)化学成分:
二氧(yang)化硅(gui)(Silica) SiO2 99.0%
三氧(yang)化(hua)(hua)二铝(Alumina) Al2O3 0.5% 氧(yang)化(hua)(hua)钙(gai)(Calcia) CaO 0.5%
石英玻璃坩埚的主(zhu)要成分是(shi)单一高纯度的二氧化硅(Silica) SiO2
陶瓷坩埚涂层材料:
在制备铸造多(duo)晶(jing)(jing)(jing)硅(gui)时(shi),在原(yuan)料熔化,晶(jing)(jing)(jing)体(ti)(ti)生(sheng)长(zhang)过(guo)程中(zhong)(zhong),硅(gui)熔体(ti)(ti)和坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚长(zhang)时(shi)间(jian)接触(chu),会产生(sheng)黏滞作用(yong)(yong)。由于(yu)两(liang)种材料的热(re)膨胀系(xi)数不(bu)同,如果(guo)硅(gui)材料和坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚壁结(jie)合紧密,在晶(jing)(jing)(jing)体(ti)(ti)冷却时(shi)很可(ke)能造成(cheng)晶(jing)(jing)(jing)体(ti)(ti)硅(gui)或坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚破裂;同时(shi),由于(yu)硅(gui)熔体(ti)(ti)和坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚长(zhang)时(shi)间(jian)接触(chu),与制备直拉单晶(jing)(jing)(jing)硅(gui)时(shi)一样,会造成(cheng)陶(tao)瓷(ci)(ci)坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚的腐蚀,使(shi)(shi)(shi)得多(duo)晶(jing)(jing)(jing)硅(gui)中(zhong)(zhong)的氧(yang)(yang)浓度升高(gao)。为了解决这个问(wen)(wen)题,工艺上一般利(li)用(yong)(yong)Si3N4等(deng)材料作为涂(tu)层,附加在坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚的内(nei)壁,从而隔离了硅(gui)熔体(ti)(ti)和坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚的直接接触(chu),不(bu)仅能够解决黏滞问(wen)(wen)题,而且可(ke)以降低(di)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)硅(gui)中(zhong)(zhong)的氧(yang)(yang),碳杂(za)质浓度;进一步地,利(li)用(yong)(yong)Si3N4涂(tu)层,还(hai)使(shi)(shi)(shi)得陶(tao)瓷(ci)(ci)坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚可(ke)能得到重(zhong)(zhong)复使(shi)(shi)(shi)用(yong)(yong),达到降低(di)生(sheng)产成(cheng)本的目的。利(li)用(yong)(yong)定向凝固技(ji)术生(sheng)长(zhang)的铸造多(duo)晶(jing)(jing)(jing)硅(gui),在多(duo)数情况下,坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚是消耗件,不(bu)能重(zhong)(zhong)复循环使(shi)(shi)(shi)用(yong)(yong),即每一炉多(duo)晶(jing)(jing)(jing)硅(gui)需(xu)要一支陶(tao)瓷(ci)(ci)坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚。陶(tao)瓷(ci)(ci)坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚的内(nei)涂(tu)层处理(li)得恰当,陶(tao)瓷(ci)(ci)坩(gan)(gan)(gan)(gan)埚可(ke)以重(zhong)(zhong)复使(shi)(shi)(shi)用(yong)(yong)。
陶瓷(ci)坩埚(guo)力(li)学性(xing)能:
陶瓷是脆硬性材料,其抗拉强度很低而抗压强度很高。性能测试与试样的内在质量和表面状态关系密切,一些显微缺陷和表面粗糙度对测试结果有很大影响。
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