氧化锆陶瓷材料优良(liang)机(ji)械(xie)性(xing)能(neng)使其在微机(ji)电系统(tong)中有广阔(kuo)的应(ying)用前景(jing)。采用微细切削加(jia)工方(fang)法(fa)在陶(tao)瓷生胚上加(jia)三维结构，即可(ke)提(ti)高加(jia)工效率，又可(ke)以降(jiang)低成本．是(shi)很有前景(jing)的加(jia)工方(fang)法(fa)。

　　在氧化(hua)锆陶(tao)瓷生(sheng)胚(pei)上微细结构加工(gong)边中(zhong)尺寸精(jing)度(du)的(de)控制(zhi)问题。氧化(hua)锆陶(tao)瓷生(sheng)坯通过压(ya)(ya)力(li)使粉末(mo)成型并具备一(yi)定强度(du)，用三(san)点抗(kang)(kang)弯实(shi)验测(ce)定了(le)不同压(ya)(ya)制(zhi)压(ya)(ya)力(li)下的(de)坯抗(kang)(kang)抗(kang)(kang)弯强度(du)，得到(dao)了(le)抗(kang)(kang)弯强度(du)与压(ya)(ya)制(zhi)压(ya)(ya)力(li)的(de)关系随着压(ya)(ya)制(zhi)压(ya)(ya)力(li)的(de)增加，坯体的(de)强度(du)也(ye)在增加，并且基本(ben)呈线性变化(hua)。

　　通过比较微(wei)结(jie)(jie)判断(duan)氧(yang)化(hua)锆(gao)(gao)陶(tao)瓷加工质量的好(hao)坏结(jie)(jie)果表明氧(yang)化(hua)锆(gao)(gao)陶(tao)瓷坯体强(qiang)度越大，氧(yang)化(hua)锆(gao)(gao)陶(tao)瓷加工质量越好(hao)。氧(yang)化(hua)锆(gao)(gao)陶(tao)瓷生(sheng)胚(pei)在(zai)烧结(jie)(jie)后(hou)会(hui)出现一(yi)定(ding)的体积收(shou)缩(suo)，压(ya)力(li)下(xia)(xia)压(ya)制的生(sheng)胚(pei)收(shou)缩(suo)率变化(hua)。同一(yi)压(ya)力(li)下(xia)(xia)．氧(yang)化(hua)锆(gao)(gao)陶(tao)瓷胚(pei)体x向和Y向收(shou)缩(suo)率一(yi)致(zhi)，井(jing)且(qie)不同高度处的xY向收(shou)缩(suo)率无明显差异。随着压(ya)力(li)的增加，x、Y、z向收(shou)缩(suo)率逐渐(jian)减少，z向收(shou)缩(suo)率对压(ya)力(li)更(geng)敏感。

　　氧化锆(gao)陶瓷(ci)为得(de)到尺寸(cun)正确(que)的微细结构(gou)，究影响尺寸(cun)精度的因素，重点在z自R寸(cun)的控制。加工系统轴(zhou)向(xiang)变(bian)(bian)形量，得(de)到了一定(ding)(ding)加工参数下轴(zhou)向(xiang)加工力的变(bian)(bian)化规律(lv)和系统的刚(gang)度，确(que)定(ding)(ding)了系统的轴(zhou)向(xiang)变(bian)(bian)型(xing)量。

　　加工刀具磨损规(gui)律

　　刀具在(zai)初期磨损阶段和正常磨损阶段的相(xiang)对体积损耗率，并推出了计算刀具轴向(xiang)(xiang)损耗量的经验公(gong)式。最后(hou)对系统轴自变形(xing)量、刀具磨损量、收缩事(shi)进行(xing)补偿，在(zai)生(sheng)胚上加(jia)(jia)工微小(xiao)型腔(qiang)，结果表明加(jia)(jia)工及(ji)烧成尺(chi)寸与(yu)目(mu)标尺(chi)寸基本致，生(sheng)胚工后(hou)z向(xiang)(xiang)最大绝对偏差l.4mm，致密化烧结后(hou)，z向(xiang)(xiang)最大绝对偏差3.8mm表明所采用(yong)的补偿方(fang)法(fa)可以(yi)有效控制(zhi)z向(xiang)(xiang)尺(chi)寸。