氧化锆陶瓷磨削加工方法在上面几篇文章中已经介绍了三种，最后一种陶瓷超声波磨削加工法也可用于精密陶瓷零件加工，下面科众陶瓷厂将介绍最后一种磨削加工方法---超声波磨削加工。

超(chao)声波磨(mo)(mo)削加(jia)工主要是利用(yong)超(chao)声振动的(de)工具，带动工件(jian)和(he)工具间的(de)磨(mo)(mo)料悬浮液(ye)，对被加(jia)工陶瓷工件(jian)进行(xing)冲(chong)击和(he)抛磨(mo)(mo)，使其局部材料被蚀除而成粉(fen)末(mo)，来达(da)到穿(chuan)孔切割和(he)研磨(mo)(mo)、抛光的(de)目的(de)。

超身波磨削加工原理图

在陶(tao)(tao)瓷(ci)材料磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)加工(gong)(gong)中通过不同的(de)磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)参数对氧(yang)(yang)化(hua)(hua)锆陶(tao)(tao)瓷(ci)进行普通和超(chao)(chao)声波辅助磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)加工(gong)(gong)，研究表明(ming)普通磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)时，随着(zhe)砂轮速度(du)的(de)增加，氧(yang)(yang)化(hua)(hua)锆陶(tao)(tao)瓷(ci)磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)力明(ming)显减少(shao)，而超(chao)(chao)声磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)没(mei)有明(ming)显变化(hua)(hua)；超(chao)(chao)声磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)深度(du)能达到10μm，高(gao)于普通磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)近10μm。超(chao)(chao)声波磨(mo)(mo)削(xue)(xue)(xue)加工(gong)(gong)与电火花(hua)、电解(jie)、激光加工(gong)(gong)技术相比，既不依赖(lai)材料的(de)导电性又没(mei)有热物(wu)理作用，特(te)别适合氧(yang)(yang)化(hua)(hua)锆等(deng)硬(ying)脆材料的(de)微细(xi)加工(gong)(gong)，正向着(zhe)高(gao)精度(du)、微细(xi)化(hua)(hua)方向发(fa)展。

备(bei)注(zhu)：由于氧化锆(gao)陶瓷(ci)的制(zhi)(zhi)备(bei)工艺(yi)以(yi)及增韧方(fang)法不同，制(zhi)(zhi)备(bei)出的氧化锆(gao)陶瓷(ci)制(zhi)(zhi)品性能及其加工方(fang)式也有极大的区别。例如研究人员(yuan)采(cai)用陶瓷(ci)复相(xiang)的方(fang)式对氧化锆(gao)陶瓷(ci)进行增韧处理，因此对这(zhei)类(lei)陶瓷(ci)材料(liao)的磨削加工会(hui)采(cai)用其他的加工方(fang)式，如激光热应力切(qie)割(ge)技术，磨料(liao)水射流加工，金刚(gang)石套料(liao)铣削加工，电火花加工等等。

氧化锆陶瓷固(gu)定块

氧化锆陶瓷超声加工是在加工工具或被加工材料上施加超声波振动，在工具与工件之间加入液体磨料或糊状磨料，并以较小的压力使工具贴压在工件上。氧化锆陶瓷加工时，由于工具与工件之间存在超声振动，迫使工作液中悬浮的磨粒以很大的速度和加速度不断撞击、抛磨被加工表面，加上加工区域内的空化、超压效应，从而产生材料去除效果。

氧化锆陶瓷超声加工与其它加工方法相结合，形成了各种超声复合加工工艺，如超声车削、超声磨削、超声钻孔、超声螺纹加工、超声振动珩磨、超声研磨抛光等。超声复合加工方式较适用于氧化锆陶瓷的加工，其加工效率随着氧化锆陶瓷材料脆性的增大而提高。
研究人员对氧化锆陶瓷材料的超声磨削加工进行了研究，使陶瓷材料的加工效率提高近一倍；

在对氧化铝陶瓷与(yu)(yu)氧化锆陶瓷进行(xing)加工时，在工具与(yu)(yu)工件上(shang)同时施加超(chao)声振动，从而(er)使加工效率提高了2～3倍；在钻头上(shang)施以超(chao)声振动进行(xing)深孔加工，大大提高了孔内(nei)表(biao)面质量与(yu)(yu)孔的圆(yuan)度。