氧化锆陶瓷因为它硬度很大，仅次于金刚石，所以它的机械加工难度很大，下面科众陶瓷厂将为大家介绍一种新型氧化锆陶瓷加工方法---化学机械加工法。

为了避免坚硬磨料对(dui)氧化(hua)(hua)(hua)锆陶(tao)瓷加工面(mian)所(suo)造成的损伤，有关学(xue)(xue)者对(dui)化(hua)(hua)(hua)学(xue)(xue)机(ji)械(xie)加工产生了兴趣(qu)。其基本思想是(shi)将化(hua)(hua)(hua)学(xue)(xue)作用(yong)与机(ji)械(xie)作用(yong)结(jie)合在一起，化(hua)(hua)(hua)学(xue)(xue)反应(ying)产生较软的化(hua)(hua)(hua)合物或(huo)形成低熔(rong)点的共晶体，在机(ji)械(xie)作用(yong)下(xia)快速去(qu)(qu)除(chu)，由于(yu)去(qu)(qu)除(chu)力很(hen)小(xiao)，没有反应(ying)的基体不会受到损伤。

精加工陶瓷轴套

磨粒与工件的微观凸峰相接触，在一定压力作用下，工件凸峰刺入磨粒，产生高温高压，激活了两者之间的化学反应，随着磨粒与工件之间的相对运动，反应的产物被磨粒带走。该工艺过程的关键是选择合适的磨料，即保证磨粒与工件之间能发生化学反应，产生较软的化合物或形成低熔点的共晶体。通过控制压力和滑动速度可方便地实现工艺过程的控制。
 

目前的工艺数据表明，氧化锆陶瓷精加工（抛光、研磨）最合适的磨料是三氧化二铬，加工三氧化二铝最合适的磨料是二氧化硅。Si3 N4、SiC同Cr2 03作用产生CrN和CrSiz；氧化铝作用则是形成低熔点的氧化铝·2Si02莫来石晶体。

目前还没有商业化(hua)(hua)(hua)的(de)(de)(de)(de)(de)专用化(hua)(hua)(hua)学机械加工的(de)(de)(de)(de)(de)工艺(yi)(yi)及设备(bei)，大多(duo)是利用金刚石工具加工的(de)(de)(de)(de)(de)设备(bei)，仅(jin)仅(jin)改换磨(mo)(mo)料而实现的(de)(de)(de)(de)(de)。由(you)于(yu)(yu)要(yao)(yao)激活(huo)固(gu)相反应，需(xu)要(yao)(yao)在磨(mo)(mo)粒与工件凸峰之(zhi)间(jian)产生压(ya)力，因而悬(xuan)浮磨(mo)(mo)料的(de)(de)(de)(de)(de)抛(pao)光工艺(yi)(yi)仅(jin)改换磨(mo)(mo)料，加工效(xiao)率低于(yu)(yu)金刚石磨(mo)(mo)料。原因在于(yu)(yu)化(hua)(hua)(hua)学反应较弱(ruo)，因而需(xu)要(yao)(yao)对工艺(yi)(yi)装置(zhi)进行一定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)改造(zao)。如增强磁(ci)磨(mo)(mo)粒抛(pao)光的(de)(de)(de)(de)(de)磁(ci)场强度，设计专用的(de)(de)(de)(de)(de)抛(pao)光工具头等。到目前为(wei)止，化(hua)(hua)(hua)学机械抛(pao)光任意(yi)形状的(de)(de)(de)(de)(de)氧化(hua)(hua)(hua)锆陶瓷表面，还没有合适的(de)(de)(de)(de)(de)工艺(yi)(yi)装置(zhi)，特(te)别是内腔表面的(de)(de)(de)(de)(de)抛(pao)光，有待(dai)于(yu)(yu)深入研究开发。