氧化锆陶瓷材料(liao)高(gao)效、高(gao)精加(jia)工(gong)方法

　　1．ELID超精磨削

　　ELID是电解(jie)在(zai)线修(xiu)整(zheng)磨(mo)(mo)削(xue)法(fa)的简(jian)称。它应(ying)用由(you)金属结合剂和(he)超(chao)硬(ying)微细金刚石（或CBN）磨(mo)(mo)料组成的砂轮(lun)，并在(zai)磨(mo)(mo)削(xue)过(guo)程中同(tong)时(shi)用电解(jie)法(fa)修(xiu)锐砂轮(lun)，使(shi)砂轮(lun)始(shi)终保持锋利，从而保证在(zai)高效条(tiao)件(jian)下进(jin)行超(chao)精(jing)密(mi)磨(mo)(mo)削(xue)，故它是镜面磨(mo)(mo)削(xue)脆(cui)性材(cai)料（如陶瓷、玻璃(li)、硅(gui)和(he)铁淦氧等(deng)）的一种(zhong)先进(jin)方法(fa)。

　　应(ying)用(yong)(yong)ELID方法对氧化(hua)锆陶瓷材(cai)料(liao)进行高(gao)(gao)的材(cai)料(liao)切除率的磨削(xue)(xue)(xue)可(ke)以大大降低磨削(xue)(xue)(xue)费用(yong)(yong)。当采用(yong)(yong)合理的砂轮修(xiu)整参数(shu)时，可(ke)使摩削(xue)(xue)(xue)力比(bi)用(yong)(yong)传(chuan)统磨削(xue)(xue)(xue)方法降低l～2倍，而且还能在连(lian)续磨削(xue)(xue)(xue)过(guo)程中磨削(xue)(xue)(xue)力几(ji)乎保(bao)持不变（图(tu)1），有利于提高(gao)(gao)材(cai)料(liao)切除率和保(bao)证(zheng)加工(gong)表面(mian)质量的稳定。

　　ELID的砂轮修整步骤为：

　　1）砂(sha)轮(lun)整形，用粒度100＃砂(sha)轮(lun)在300r／min下打砂(sha)轮(lun)；

　　2）机械修整，用粒度400＃Al2O3砂(sha)轮在(zai)300r／min下修整；

　　3）电(dian)解预修整，在300r／min和90V下电(dian)解修整30min；

　　4）磨削(xue)过程ELID修整，电压60V，电流IP＝6A，电路闭合和断开时(shi)间已(yi)τo＝τoff＝μs。

　　精密陶瓷(ci)球的研(yan)磨加工

　　陶(tao)瓷球的(de)(de)精(jing)度对陶(tao)瓷轴承的(de)(de)运转精(jing)度和高速性有很大(da)影响。精(jing)密和超(chao)精(jing)密主(zhu)轴轴承采用(yong)的(de)(de)陶(tao)瓷球的(de)(de)公差等级为G5，其(qi)球的(de)(de)直径变动量和球形误差≤0.13μm，表面粗糙(cao)度Ra0.02μm。为了能高效地保证达到精(jing)度要(yao)求，其(qi)加工要(yao)点：

　　1）要经粗(cu)、精、超精研(yan)磨和(he)抛(pao)光等多(duo)道工序，由粗(cu)到精逐渐减小(xiao)磨料粒度(du)、研(yan)磨压(ya)力(li)和(he)研(yan)磨速度(du)（表1），并逐步延长研(yan)磨的时间。

　　2）降低(di)研(yan)(yan)磨(mo)压(ya)力(li)并(bing)减小(xiao)研(yan)(yan)磨(mo)盘的跳动（或采用(yong)很低(di)的研(yan)(yan)磨(mo)速度(du)(du)），可(ke)以(yi)有效(xiao)地(di)减小(xiao)表面粗糙度(du)(du)和(he)波(bo)纹度(du)(du)。

　　3）研磨(mo)剂应遵循(xun)少量勤添的原则。

　　4）陶(tao)瓷球的(de)材料应采(cai)用致密(mi)和缺陷小(xiao)的(de)热(re)流体等静压烧结Si3N4（HIPSN）或ZrO2。

　　5）采用锥形(xing)研磨法以提高(gao)研磨效率(lv)。所示上研磨盘(pan)为锥形(xing)使(shi)陶(tao)瓷球在(zai)研磨时有较大自旋(xuan)角(jiao)（＞45º），使(shi)陶(tao)瓷球充分自旋(xuan)增强回转滑动，因而比通常的(de)V形(xing)槽(cao)研磨法有高(gao)的(de)研磨效率(lv)。